该成果由谭久彬院士创新研究团队经过十八年的系统研究与攻关，提出多模复合静压气浮匀化方法和基准间误差分离方法等，使匀化效应显著提升，原理误差被完全消除；发明新原理运动基准和误差分离系统，主要技术指标领先于国际同类技术；研制成功国内第一台超精密特种形状测量仪。该类大型专用超精密测量仪器批量装备到我国航天和国防领域，解决了我国航天和尖端国防装备中核心部件的测量难题；同时，研制成功国内第一台基准型圆柱度测量仪，首次建成国家级圆柱度计量标准装置，结束了我国在该技术领域没有国家级计量标准的历史，实现了全国范围内该量值的准确一致。
在该方向上共发表学术论文120余篇，专著2部，获授权发明专利60余项，国际发明专利10项，制定标准18项。该成果获2006年度国家技术发明奖一等奖。
